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1、BOEHF Copyright 2010 2012年1月4日 PI设备PM相关介绍 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 2 一、镜头的ZOOM马达注油 二、换灯 三、设备的开关机 目录 四、设备整体清洁 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 3 一、给镜头上的ZOOM马达导轨注油 1、先将Stage移到左边，露出Stage下方的导轨和线性马达。 7个扫描镜头 线性马达（具有磁性 ），其对面是光栅 防止stage异常滑出 导轨装置 Company ConfidentialBOE HF Copyright
2、 2011 4 2、拆下盖子。 3、用油抢将油注入导轨上。 注油位置 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 5 4、左右旋转几下，使润滑油均匀分布到导轨上。 5、通过调节小轮底座与ZOOM马达之间的距离，可调节皮带的松紧。 一般情况下，每次给ZOOM马达注油时都需检查皮带的松紧，皮带不可过 松，也不能过紧，要保持适当的张紧度。 左右旋转几下 1 2 1 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 6 6、合上盖子，完成注油。 几点注意事项： 1、stage上的位置sensor，镜头上的sensor等各种sen
3、sor最好都别触碰，以免使 sensor失灵； 2、stage上的线性马达具有强磁性，各种小螺丝要小心存放，避免被线性马达吸入 其中而使线性马达损坏（如果有小的金属被吸入，一定要想办法取出来）； 3、人在设备内部时，最好将设备显示器关闭，防止他人操作，而发生人身伤害。 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 7 二、换灯 1、先将如左图上的POWER开关关闭，再将如右图的POWER开关关闭。 2、等2分钟左右，待内部风扇停止，拆下右图中两个光源发出装置上部的盖子。 3、等30分钟待灯泡冷却下来后，进行灯泡更换。 注意事项： 1、刚开始灯泡温度较高，注
4、意有烫伤危险； 2、换完灯泡后要将灯泡的Life清零（关闭主控制器的Power,再按白色的MODE按键切换到 LAMP LIFE TIME,最后同时按下UP与DOWN即可清零）； 3、换完后要将镜头处射下的光调为白色（通过多次开关主控制器的Power ），否则设备 不能正常测试。 先关闭 后关闭 灯泡在盖子下面 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 8 三、设备的开关机 有时需对设备断电停机，要按一定的顺序关闭电源： 1、先关闭设备的电脑主机； 2、再关闭设备各个控制模块的电源； 3、最后关闭设备的总电源。 开机过程与上述顺序相反。 控制模块开关
5、设备总开关 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 9 四、设备整体清洁 1、设备的Stage上面一般不用无尘布清洁，容易将pin碰偏；用气枪由中间向边 缘吹即可。 2、 Stage下面的导轨基座可用无尘布沾酒精擦拭，而基座上的导轨以及各种导 轨要用干的无尘布擦拭。 3、设备PM时，能擦得到的地方尽量都擦拭一下，以减少设备内部PT。 注意事项： 1、在擦拭时要注意设备内部的各个sensor，避免触碰、损坏； 2、各种镜头不能擦拭； 3、设备内部空间较小，作业时一定要小心谨慎。 Company ConfidentialBOE HF Copyright 2011 10
