《2008年11月微纳电子技术第45卷第11期- 中国半导体行业协会》由会员分享，可在线阅读，更多相关《2008年11月微纳电子技术第45卷第11期- 中国半导体行业协会（10页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、“微纳电子技术”2008年第11期专家论坛P621-InP中的深能级杂质与缺陷(续)纳米器件与技术P627-GeSi/Si共振隧穿二极管P635-小发散角量子阱激光器研究纳米材料与结构P639-MOCVD生长高Al组分AlGaN材料研究P643-透明导电薄膜对太阳能平板集热器性能的影响MEMS器件与技术P647-RF MEMS开关的发展现状P654-Research Progress of Passive Micromixers显微、测量、微细加工技术与设备P662-扫描近场光学显微镜中探针样品间距控制方法P668-CMP承载器的初步研究微电子器件与技术P672-高亮度发光二极管封装用透镜胶研
2、究进展P677-RFID中EEPROM时序及控制电路设计市场Invensense公司获得1 900万美元C系列基金Yole报告2008年轻引擎和微微投影仪市场手机MEMS产业的机遇美新（MEMSIC）公布2008年第一季度财政总况专家论坛P621-InP中的深能级杂质与缺陷(续)孙聂枫1，赵有文2，孙同年1（1.中国电子科技集团公司第十三研究所专用集成电路国家重点实验室，石家庄050051；2. 中国科学院半导体研究所，北京100083）纳米器件与技术P627-GeSi/Si共振隧穿二极管郭维廉1,2,3（1.天津工业大学信息与通讯学院，天津300160；2.专用集成电路国家重点实验室，石家庄
3、050051；3.天津大学电子信息工程学院，天津300072）摘要：GeSi/Si共振隧穿二极管主要包括空穴型GeSi/Si RTD、应力型GeSi/Si RTD和GeSi/Si带间共振隧穿二极管三种结构。着重讨论了后两种GeSi/Si基RTD结构；指出GeSi/Si异质结的能带偏差主要发生在二者价带之间（即EvEc），形成的电子势阱很浅，因此适用于空穴型RTD的研制；n型带内RTD只有通过应力Si或应力GeSi来实现，这种应力型RTD为带内RTD的主要结构；而带间GeSi/Si RITD则将成为更有应用前景的、性能较好的GeSi/Si RTD器件结构。关键词：GeSi/Si共振隧穿二极管；G
4、eSi/Si异质结；GeSi/Si带间共振隧穿二极管；能带结构；材料结构P635-小发散角量子阱激光器研究李雅静1,2，安振峰2，陈国鹰1，王晓燕2，赵润2，杜伟华1,2，王薇1,2（1. 河北工业大学信息工程学院，天津300130；2. 中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051）摘要：使用三层平板波导理论分析了半导体量子阱激光器远场分布。针对大功率激光器讨论了极窄和模式扩展波导结构方法减小垂直方向远场发散角，得到了极窄波导结构量子阱激光器远场分布的简化模型，获得了垂直发散角的理论值，垂直方向远场发散角减小为28.6；使用传输矩阵方法模拟了模式扩展波导结构量子阱激光器的近场光斑及远
5、场分布，垂直方向远场发散角减小为16。实验测试了极窄和模式扩展波导结构量子阱激光器的垂直发散角，理论结果与实验测试获得的发散角基本一致，实现了降低发散角的要求，获得了小发散角量子阱激光器。关键词：量子阱激光器；极窄波导；模式扩展；波导结构；发散角纳米材料与结构P639-MOCVD生长高Al组分AlGaN材料研究刘波，袁凤坡，尹甲运，刘英斌，冯震，冯志宏（专用集成电路国家级重点实验室, 石家庄050051）摘要：报道了用MOCVD在蓝宝石衬底上生长日盲型AlGaN基紫外探测器用的高质量AlN、AlGaN材料。通过优化AlN、AlGaN生长的工艺条件，如生长温度、生长压力及/比等，得到了器件级高质
6、量的AlN、AlGaN外延材料。AlN外延膜 X射线双晶衍射（002）面扫描曲线半高宽为97，（102）面扫描曲线半高宽为870，Al0.6Ga0.4N外延膜双晶衍射（002）面扫描曲线半高宽为240；使用原子力显微镜（AFM）对两种样品5 m5 m区域的表面平整度进行了表征，AlN外延膜的粗糙度（Rms）为8.484 nm，Al0.6Ga0.4N外延膜的粗糙度为1.104 nm；透射光谱测试显示AlN和Al0.6Ga0.4N吸收带边分别为205 nm和266 nm，且都非常陡峭。关键词：AlGaN; 金属有机化学气相淀积; 射线衍射;原子力显微镜;透射光谱P643-透明导电薄膜对太阳能平板集
7、热器性能的影响梁庆a,b,c，徐刚a,b，甄恩明a,b,c，陈丽华a,b，苗蕾a,b(中国科学院a.广州能源研究所;b.可再生能源与天然气水合物重点实验室, 广州510640;c.研究生院, 北京100039)摘要：在介绍透明导电薄膜光学性质的基础上，分别讨论了不同情况下，太阳能平板集热器盖板采用镀有透明导电薄膜的玻璃对集热器的光热转换效率和保温性能的影响。结果表明，当集热器吸热板表面没有覆盖选择性吸收涂层,在盖板玻璃下表面镀有透明导电薄膜可以在一定温度范围内提高集热器的转换效率和保温性能，而当吸热板已覆盖有选择性吸收涂层时，盖板玻璃再镀透明导电薄膜，集热器辐射热损则减少很少，甚至不足以补偿由
8、于玻璃透过率降低而增加的光反射损失，在这种情况下，盖板不宜再采用镀有透明导电薄膜的玻璃。关键词：透明导电薄膜；选择性涂层；光学特性；平板集热器；热效率MEMS器件与技术P647-RF MEMS开关的发展现状严春早，许高斌，叶刘晓（合肥工业大学应用物理系，合肥230009）摘要：RF MEMS开关是其各种组件、系统级应用中最基本的器件之一，具有低损耗、低功耗、线性化好、尺寸小及易集成等特点。对各种开关驱动机制的特点进行了比较，指出具体驱动机制的选取应符合实际应用的需求；在和传统pin开关、FET开关相比较的基础上，总结了RF MEMS开关的优缺点，概述了其目前的应用领域以及面临的主要问题；最后介
9、绍了目前国内外RF MEMS开关研究状况。通过对国内外一些经典RF MEMS开关范例的简述，展望了RF MEMS开关未来的发展趋势。关键词：射频微机电系统；开关；驱动机制；可靠性；发展趋势P654-Research Progress of Passive MicromixersYang Yan, Chen Zhuo, Zhou Ping(School of Energy Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083,China)Abstract：A general review is made on res
10、earch of passive micromixers,including typical mixing element principles,mixer configurations,microfabrications and numerical simulations.Some main passive micromixing principles,such as the multi-laminating,chaotic advection,split-recombining，fluid twisting and flattening, and the circulation flow
11、are studied,respectively.Emphases are put on the micromixers using combined mixing principle to achieve high mixing efficiency in low Re regime.These mixers generally improve the mixing efficiency by other simple outside effects,such as using the centrifugal force,geometry constriction and three-inl
12、et structure,multi-inlet structure to increase flows periodically.As the request of low Re and high viscosity growing,more and more attention is paid on the design and research of combined SAR micromixers,in which the split-recombining elements can cause rotation of fluid and the geometry constricti
13、on structure adopted can cut down the diffusion distance at the same time.These dramatically improve the mixing efficiency,however make the microfabrication more difficult.Key words：passive micromixer; mixing principles; high mixing efficiency; multi-lamination; chaotic advection; split-recombining.
14、显微、测量、微细加工技术与设备P662-扫描近场光学显微镜中探针样品间距控制方法王昭，吴世法（大连理工大学 近场光学与纳米技术研究所，辽宁大连116024）摘要：在动态原子力与近场光学扫描显微镜中，探针与样品的间距关系到分辨率以及扫描速度这两个最重要参数的性能。在对几种主要的动态原子力/扫描近场光学组合显微镜的探针/样品间距控制模式分析的基础上，认为提高探针Q值是提高扫描显微镜分辨率的有效方法。但是，对采用检测控制探针振幅模式，期望在提高分辨率的同时加快扫描成像速度是不可实现的，因而限制了其发展的空间。而在检测控制探针频率模式下，提高探针Q值，可有效提高扫描探针显微镜的分辨率，且不会制约扫描成
15、像速度的提高。该结论为将来的纳米操作和纳米超高密度光存储的实用化提供了可能，对大连理工大学近场光学与纳米技术研究所研制的原子力与光子扫描隧道组合显微镜（AF/PSTM）的改进和产业化具有积极意义。关键词：动态原子力显微镜；近场扫描光学显微镜；间距控制；控制模式；扫描速度；分辨率P668-CMP承载器的初步研究周国安,柳滨,王学军,种宝春,詹阳（中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京101601）摘要：在CMP中，由于抛光垫在与其接触的晶圆边缘产生异常压力点，以及转台和承载器旋转的线速度之差在边缘处较其他点大得多，从而导致了晶圆边缘效应的产生。阐述了承载器在CMP中的作用，详细分析了边缘效应产生的原因和克服的方法。在承载器上采用与晶圆保持适当间隙的保持环结构，对保持环施加适当的压力，使保持环和晶圆位于同一抛光平面上；针对旋转式CMP设备固有的线速度之差导致片内非均匀性增大的问题， 对200 mm晶圆划分两区域进行微压力补偿，同时详细说明了压力补偿气路的设计和实现的功能，指出今后多区域微压力补偿将采用矩阵控制技术。关键词：化学机械平坦化；边缘效应；多区域控制；承载器；保持环微电子器件与技术P672-高亮度发光二极管封装用透镜胶研究进展张文飞,贺英，谌小斑（上海大学 材料科学与工程学院 高分子材料系,上海201800）摘要：大功率LED的发光强度大
