《微波泄漏处理操作作业指导书》由会员分享，可在线阅读，更多相关《微波泄漏处理操作作业指导书（5页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、微波泄漏处理操作作业指导书一、微波泄漏处理的目的微波辐射是由安装在MH2000S 微波发生器中的磁电管产生的一种电磁辐射。如果微波等离子源密封不好，在使用时候将产生一定级别的微波辐射危险，这种危险将会健康产生危害。鉴于这个原因，推荐使用微波探测器在一定条件下对其进行微波辐射检查。二、微波系统简介图一 微波系统设计图微波系统是通过CAN 总线进行PC 控制。SINA 系统使用的Roth&Rau 等离子体源包含有4 个主要器件：1.高压动力系统使用MX4000D-111LL 进行动力供给。定期对冷却水和微波电源架上的风机进行检查，看是否工作正常。2.微波发生器微波辐射为一种电磁辐射，这种辐射是由位
2、于MH2000S 微波发生装置内的磁电管产生。3.能量转移微波发生器发生出来的微波，通过铜质天线、内部铜导体进入到腔室。铜质天线与内部铜导线是通过外圆锥与内圆柱的耦合装配起来的，耦合的好坏决定了微波的泄漏与否。在更换石英管期间，需要拔出铜质天线，将对铜质天线照成磨损。因此在保养期间应对铜质天线进行检查。检查铜质天线请按下面的步骤进行：（1） 使设备处于能进行保养的状态。（2） 拆卸SiNA 系统的外壳。（3） 将铜质天线拔出拿下。（4） 检查测量铜质天线末梢的直径，更换所有直径小于5.9mm 和大于6.05mm 的铜质天线，更换所有的已经弯曲了的铜质天线。（5） 铜质天线旋转90 度，再测量。
3、（6） 用刷子、砂纸或者清洁液清理铜质天线末梢，然后用异丙醇清洗。（87） 用测量直径的方法检查铜质天线，更换所有直径小于7.9mm 和大于8.10mm 的铜质天线，更换所有的已经弯曲了的铜质天线。（8） 铜质天线旋转90 度，再测量。（9） 刷子、砂纸或者清洁液清理铜质天线，然后用异丙醇清洗。（10） 在石英管安装之后，安装上铜质天线。与机台内部配合图二，为铜质天线的头尾部实图：与内部铜导体配合与机台外部配合 尾部 头部（图二 铜质天线）内部铜导体洁净的表面、正确的安放位置和恰当的直径都将降低从微波产生到反应腔之间的能量损失。因此在维修保养期间要仔细的检查铜导体，用刷子和异丙醇对内部铜导体进
4、行清洁。更换所有已经弯曲的内部铜导体。图三，为内部铜导线在石英管的内部实物图：内部铜质导体图三 内部铜导线4.等离子区主要包括了敷层四组防护槽与四组石英管。三、MD-2000微波探测器简介MD-2000微波探测器是SINAL自带的、用于测量微波泄漏的一种常用仪械。使用该探测器需要重点注意的有四个地方：（1）sensor感应指示灯。测量到的微波大于5 mw/cm2时，sensor指示灯就会亮起。（2）数显区。用于显示测量到的微波的值，显示的范围为0-10 mw/cm2。测量到的值大于10mw/cm2的话，在显示区上显示“-”（3）按键。微波探测器仅有的一个按键。需要使用微波时，在远离微波的地方长
5、按该键，直至显示区上显示的是0.00 mw/cm2。图四，为置零后的微波探测器。图四 微波探测器置零置零后的微波探测器放置于需要测量的元件处，数显表上会显示微波泄漏值。在整个测量过程中勿松开该按键。（4）电池。电池安装在背部，使用的是通用的24V电池。应储存该备件。按键数显区Sensor指示灯MD-2000微波探测器四、微波泄漏的调整有下列情况之一，建议要测量微波是否泄漏： 1.关机后复机，重开工艺后建议测量微波是否泄漏。2.停工艺，重开工艺后建议测量微波是否泄漏。3.当班连续生产，至少作一次测量。在远离微波的地方长按按键，直至显示区上显示的是0.00mw/cm2。置零后的微波探测器绕铜质天线
6、一圈，数显表上会显示微波泄漏值。原则上泄漏值越小越好。实际操作上，当测到的值大于3时，就要调整铜质天线。在整个测量过程中勿松开该按键。检测到有微波泄漏，需要对铜质天线进行调整。 调整铜质天线请按下面的步骤进行：（1） SINAL有8根铜质天线，左右各4个。先用微波探测器探测一边的四根铜质天线，若有泄漏做应做如下调整：先朝里压紧天线，然后顺时针或逆时针旋转，直至使用微波探测器检测出来的泄漏值小于3。（2） 到另一边去调整其他四根铜质天线，若有泄漏应作如下调整：a 叫一个人按住已调整好的一根铜质天线按住铜质天线b 与被按住的天线相对应的天线，进行调整。调整方法：先朝里压紧天线，然后顺时针或逆时针旋转，直至使用微波探测器检测出来的泄漏值小于3.（3）采用以上方法，对有泄漏的微波源进行调整。
