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1、液晶显示器用材料特性简介第一篇 ITO 导电玻璃简介ITO 导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用 ITO 导电玻璃，还会在镀 ITO 层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用 ITO 玻璃在溅镀 ITO 层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用 ITO 玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。在溅镀 ITO 层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运
2、动方式下，所得到的 ITO 层会有不同的特性。一些厂家的玻璃 ITO 层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“ 麻点 ”现象；有些厂家的玻璃 ITO 层会出现高蚀间隔带，ITO 层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃 ITO 层则会出现微晶沟缝。ITO 导电层的特性：ITO 膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的 ITO 玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于 ITO 具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变” ，因此在存放时要防潮。ITO 层在活性正价离子溶
3、液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。ITO 层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以 ITO 导电玻璃的 ITO 层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。ITO 导电玻璃的分类：ITO 导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150500 欧姆） 、普通玻璃（电阻在60150 欧姆） 、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆） 。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于 TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于 STN 液晶显
4、示器和透明线路板。ITO 导电玻璃按尺寸分，有14” x14”、14”x16”、20” x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、 1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm 等规格，厚度在0.5mm 以下的主要用于 STN 液晶显示器产品。ITO 导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。影响 ITO 玻璃性能的主要参数：长度、宽度、厚度及允差（0.20 ）垂直度（0.10%）翘曲度（厚度0.7mm 以上0.10%，厚度0.55mm 以下0.15% ）微观波纹度微观波纹度(表面形貌仪测量)厚度(mm)抛光面 镀膜面1.10 0.05m/20mm 0.10m/20mm0.70
5、 0.08m/20mm 0.13m/20mm0.55 0.10m/20mm 0.20m/20mm0.40 0.15m/20mm 0.25m/20mm倒边C 倒边（0.05mm 宽度0.40mm）R 倒边（0.20mm 宽度1.00mm，曲率半径 50mm）倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm ）SIO2阻挡层厚度（350埃 50埃，550nm 透过率90%）ITO 层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）：见表1-1。表1-1膜厚 透过率（波长550nm ） 方块电阻 蚀刻时间150A30 A 90% 180
6、/口 0.05mm 不允许 宽度0.10mm 不允许 宽度0.10mm 不允许 宽度0.10mm 不允许玻璃体点状缺陷：包括气泡、夹杂物、表面凹坑、异色点等。点状缺陷的直径定义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见表1-3。表1-3抛光面 镀膜面d0.03mm 不计 d0.05mm 不计0.03mmd0.20mm 最多4 个/每片 0.05mmd0.30mm 最多4 个/每片d0.20mm 不允许 d0.30mm 不允许玻璃体线状缺陷(宽度 W)：包括玻筋、光学变形见表1-4。表1-4抛光面 镀膜面d0.03mm 不计 d0.05mm 不计0.03mmd0.20mm 最多4 个/每片 0.05mm
7、d0.30mm 最多4 个/每片d0.20mm 不允许 d0.30mm 不允许膜层点状缺陷：SIO2阻挡层和 ITO 导电层的点状缺陷包括针孔、空洞、颗粒等，点状缺陷的直径定义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见表1-5。表1-5抛光面 镀膜面d0.03mm 不计 d0.05mm 不计0.03mmd0.10mm 最多4 个/每片 0.05mmd0.20mm 最多4 个/每片d0.10mm 不允许 d0.20mm 不允许膜层其他缺陷：掉膜、污迹、雾斑等不允许。ITO 导电玻璃的工厂自适应测试方法及判定标准：尺寸：A、测试方法：用直尺和游标卡尺测量待测玻璃原片的长度、宽度、厚度。B、判定标准：测量结
8、果在供货商所提供的参数范围之内为合格。面电阻: A、测试方法：把待测试玻璃整个区域做为测试区域，然后测试区域分成九等份后再用四探针测试仪分别测试各区域的面电阻。B、判定标准：根据测试结果计算出电阻平均值及电阻资料分散值，结果在要求范围内既是合格。ITO 层温度性能 A、测试方法：把待测玻璃原片在3000C 的空气中，加热30分钟，测试其加温前后的同一点面电阻阻值。B、判定标准：ITO 导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的300%为合格。蚀刻性能：A、测试方法：把待测玻璃原片放入生产线所用的蚀刻液中测试其蚀刻完全的时间。B、判定标准：蚀刻完全的时间值小于生产工艺所设定时间的一半值为合格。或按表1
9、-1蚀刻性能指标检测。ITO 层耐碱性能A、测试方法：把待测玻璃原片放在600C 、浓度为10%氢氧化钠溶液中 5分钟后，测试其浸泡前后的同一点面电阻阻值。B、判定标准：ITO 层方块电阻变化值不超过10%为合格。光电性能与可靠性：A、测试方法：把待测玻璃与现生产用玻璃按现生产工艺参数，选择一型号制作成成品并测试其光电与可靠性性能；B、判定标准：光电性能与可靠性测试结果与现生产用玻璃结果相当，并在测试产品型号要求范围之内。ITO 导电玻璃的选用规则：模数在240以上的产品，一般可选用供货商 B 级品玻璃；模数在40模以上，240模以下的产品，一般选用普通 A 级品玻璃；模数在40模以下的产品，
10、STN 产品，一般选用低电阻抛光玻璃。COG 产品，一般选用15欧姆抛光玻璃。附：工厂 ITO 玻璃参考选用原则：玻璃基板 方块电阻 选用原则 备注格莱威宝 3040 21模 HTN 数位式产品格莱威宝 4060 35模 HTN 产品有显示不均的产品3680模 HTN 数位类产品板硝子 304021模 HTN 产品有显示不均的产品3680模 HTN 字符类产品 板硝子 406022模的 TN 产品 有轻微显示不均81模 HTN 产品 40模 TN 产品 进口 70110A+规 TN 产品和宽温产品 国产 70110 42模、A 规、B 规产品 6、ITO 导电玻璃的使用方法：任何时候都不容许叠
11、放；除规定外，一般要求竖向放置；平放操作时，尽量保持 ITO 面朝下；厚度在0.55mm 以下的玻璃只能竖向放置；取放时只能接触四边，不能接触导电玻璃 ITO 表面；轻拿轻放，不能与其它治具和机器碰撞；如果要长时间存放，一定要注意防潮，以免影响玻璃的电阻和透过率；对于大面积和长条形玻璃，在设计排版时要考虑玻璃基片的浮法方向。7、ITO 导电玻璃的贮存及搬运方法：ITO 导电玻璃的贮存方法：ITO 导电玻璃应贮存在室温条件下，湿度在65%以下干燥保存；贮放时玻璃保持竖向放置，玻璃间堆放不可超过二层，木箱装 ITO 导电玻璃货物堆放不可超过五层。纸箱装货 ITO 导电玻璃货物，原则上不能堆放。IT
12、O 导电玻璃搬运方法：易碎品，小心轻放，保持搬运过程中的稳定性，搬运时层高不得超过三层。第二篇 光刻胶简介作为图案复制用的光刻胶，主要的指标有光反应速度、光分辨率、光反应波长、针孔度、粘度等。自97年后，普通的 LCD 制作用光刻胶基本上都已经把光反应速度提高了一倍以上，使定向层制作前的生产能力大大提升。现在市面上的 LCD 制作用光刻胶光反应时间几乎都可以在10 秒以下。光分辨率在近几年也有了很大进展，现市面上的 LCD 制作用光刻胶都可以做到 PITCH 在18 微米水平。光反应波长在前几年如果要做到 PITCH28微米的水平，波长还得在275 纳米以下，经过这几年的发展，现在在400纳米
13、可以反应的光刻胶也可以做到 PITCH18微米的水平。光刻胶的技术由于改良发展较快的缘故，基本上已经解决了针孔率偏高的问题，现在大家几乎都不再考虑针孔率对 LCD 制作的影响了。粘度的调整要视各家的习惯，一般是50CP 的产品由于使用时添加了一定的稀释剂，可以比较好调整涂覆效果，成本也可以降低，但是由于大量使用稀释剂，也使光刻胶的一些性能受到影响，在作比较高档的产品时会有分辨率下降的趋势。而30CP 的产品，在涂覆效果上，控制稍显困难，但性能比较稳定，比较适合制作精细度高的产品。光刻胶的保存条件比较严格，在光线、温度、湿度上都有限制，特别是开瓶使用后的光刻胶和稀释剂，一旦吸潮，其物理化学性能均
14、下降很快。现在光刻胶涂覆工段一般都与自动纯水清洗线连在一起，很多时候都只考虑此段的洁净度，而疏忽了该段的湿度控制，使得光刻胶涂覆的良品率比较低，在显影时光刻胶脱落严重，起不到保护阻蚀的效果。1、光刻胶的特性：光刻胶的组成：LCD 使用的光刻胶一般为正性光刻胶，由光敏剂、填料和添加剂混和而成。光刻胶的特性：正性光刻胶中的的填料让光刻胶有一定的粘性，加温固化后能得到一定的初始硬度。而正性光刻胶中的光敏剂中一种溶于弱碱的小分子化学品，它在紫外线的作用下聚合成一种不溶于强酸和弱碱的比较致密大分子化合物，但它在强碱中依然可以溶解。光刻胶的分类：电子类产品光刻胶分为高感光度光刻胶和低感光度光刻胶。高感光度
15、光刻胶可以制作10m 以内的高精密线路，一般用于 IC 和 LCD 微显示器制作，低感光度光刻胶制作精度在10 m 以上，一般用于普通 LCD产品制作和线路板制作。影响光刻胶性能的主要参数：固含量；感光度；粘度；固化温度；针孔率；分辨率2、光刻胶常用规格表：3、光刻胶工厂自适应测试方法及判定标准：粘度：A、测试方法：用粘度计测试待测光刻胶的粘度。B、判定标准：测试结果粘度值与供应商提供参数一致。添加剂干燥性能（预烘性能）A、测试方法：按生产工艺厚度要求，把光刻胶涂覆在 ITO 导电玻璃上，按供应商提供的温度和时间参数加热烘烤。B、判定标准：在参数温度时间下，光刻胶完全烘干。显影性能：A、测试方
16、法：将已烘干光刻胶的 ITO 导电玻璃按生产工艺要求和供应商提供的参数要求分别进行显影。B、判定标准：显影完全，针孔比例在要求范围内。固化阻蚀性能：A、测试方法：将已显影光刻胶的 ITO 导电玻璃按生产工艺要求和供应商提供的参数要求分别进行固化、蚀刻脱胶去膜。B、判定标准：固化完全，蚀刻后针孔比例在要求范围内，蚀刻后去胶干净无残留。5、光刻胶的使用方法： 6、光刻胶的贮存及搬运方法：光刻胶贮存时要密闭、防潮、遮光，在室温中贮存。 不能与其他化学品混放。搬运时按化学品规定管制。第三篇 PI 导向膜简介做为锚定液晶分子的主要材料，导向膜的应用是从单纯离子键作用力到分子间作用力的一大发展，导向膜的应用，不但有离子键的作用力，更主要的是有分子键的作用力，加上表面处理技术不断发展，处理机器的不断改良，除了为提高产量、和改善视角的要求，导向膜材料在进一步研究试用之外，导
