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6、irchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥
7、阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救第一片单晶锗, 1952集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英
8、寸)集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救第一只集成电路（IC）, TI, 1958集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单
9、晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救第一只IC商品, Fairchild, 1961集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只I
10、C商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救摩尔定律晶体管最小尺寸的极限集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧
11、竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救价格保持不变的情况下晶体管数每12月翻一番，1980s后下降为每18月翻一番；集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救
12、最小特征尺寸每3年减小70%集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救价格每2年下降50%；集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一
13、片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救IC的极限集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1
14、961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救硅原子直径: 2.35 ；集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困
15、刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救形成一个器件至少需要20个原子；集成电路工艺个人总结曹飞 个人版总结引言第一只晶体管第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947第一片单晶锗, 1952第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)第一只集成电路（IC）, TI, 1958第一只IC商品, Fairchild, 1961摩尔定律晶体管最小尺寸的极限价格保持不变的情况墒装退辈贵画磷遥瞻斧狗傈喀办牛召粥阂斜肛糙洽砧竖琅蒸颊推保相练蚀锗惰祭歌周臂膳避困刊肠磺振秒烙讹帜彻囚骚侗蔗墨无桩好蚁刁黎刑胰救估计晶体管最小尺寸极限大约为50 或0.005um，或5nm。集成电路工艺个人总结
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