CF制程简介,,,,课程内容,课程目标,了解 CF 基本制程 了解 CF COA 生产流程,,1.CF 定义及作用 2.CF结构介绍及说明 3.制程流程说明 4. CF COA 生产流程介绍,Part1. CF定义及作用,,CF(Color Filter)即:彩色滤光片是组合TFT-LCD其中的一个零组件,其主要的功能是让液晶显示器能产生彩色画面,若无彩膜,则看到的电视显示将是黑白的Part2. CF结构介绍,,众所周知,自然界的三原色为红、绿、蓝,通过对三原色进行混色,并调整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩BM:黑色矩阵,用来掩挡漏光 PS:感光间隙子,用来支撑与维持Cell gap均匀 ITO:用来作CF侧通用电极 RGB:起主要作用的RGB三种色阻分布排列,,Part3. 制程流程说明,,BM制程包括: ①玻璃清洗 ②BM光阻涂布 ③真空干燥 ④预烘烤与冷却 ⑤紫外线曝光 ⑥显影 ⑦烘烤R G B Layer 为相似制程,与BM相同,区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同 R Layer 红色光阻涂布,,G Layer 绿色光阻涂布,,B Layer 蓝色光阻涂布,,ITO 制程为物理溅镀过程,包括 ①前清洗 ②ITO溅镀 ③后洗净 ④烘烤,,Part4. CF COA 生产流程介绍,,PS是在CF与Array基板中支撑Cell gap的柱状pattern。
有一定的弹性回复力,可以承担一定的压力PS呈透明状,减少对光透过的阻挡,制程工序一样为黄光工序谢谢!,。