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1、带 EasyEXPERT软件的Agilent B1500A半导体器件分析仪Agilent Desktop EasyEXPERT软件让每一位用户都成为参数测试专家2完整的参数分析环境 .在每次测量后自动或有选择地保存数据和设置信息提供 230多种应用测试测量 , 添加和重复功能基于 Microsoft Windows的EasyEXPERT软件基于任务的创新参数测试方法内置半自动晶圆探针台驱动程序对 B2200A, B2201A和E5250A的集成开关矩阵控制快速测试实用程序支持测试序列化 ,并且无需编程用于电路调试的待机模式直观的基于 GUI的应用测试设置窗用于定制应用测试的My Favorit
2、e Setup特性可选择同时显示多个数据窗把数据自动或有选择地输出到外部驱动器从直流到快速脉冲测量的全方位解决方案带有 EasyEXPERT 软件的Agilent B1500A半导体器件分析仪支 持各种类型的参数测试，从基本的 IV和 CV扫描直至先进的超快 IV和脉冲 IV测量。所提供的测试程序库包括 230 种以上用户可修改的应用测试程序，因此您能立即开始执行各种复 杂的测量。 B1500A的 MicrosoftWindowsXP Professional系统能容易地集成至您的基于 PC的工作环境，熟悉的 Windows 图形用户界面和方便的在线帮助菜单更把对仪器培训的需要减到最少。Des
3、ktop EasyEXPERT提高生产力Desktop EasyEXPERT 为B1500A， 4155B/C和 4156B/C提供统一的参数测量环境。处于在线工作 模式时，能控制这些仪器，连接半自动晶圆探针台来实现测试自动化。处于离线工作模式时，则能用于开发新的应用测试程序和分析数据。因此能最大化测试效率，让您的参数测试仪器在测量中起到关键性的作用。模块化设计把成本减到最低 ,并保护您的投资10个模块插槽， 众多源/监视单元 (SMU) 和其它先进的模块类型， 使您能按使用要求精确配置 B1500A。并且也为未来改变的测量需要预留了空间。随着 Agilent 新模块的不断推出，您将能为 B1
4、500A 更容易地增加新的测试功能。满足已知及尚难预见的测试需要的能力确保了您在参数测试上的投资。3.降低成本和复杂程度高压半导体脉冲发生器单元(HV-SPGU)10插槽模块化主机多频率电容测量单元 (MFCMU)中等功率SMU (MPSMU)GPIB 接口高分辨率 SMU(HRSMU)大功率 SMU(HPSMU)波形发生器/快速测量单元 (WGFMU)4.2A接地单元 (GNDU)所有 SMU为 Kelvin型 ,有独立的强制输入和感测输入简化 CV测量的集成电容模块B1500A的多频率电容测量单元(MFCMU) 不需要单独的外部电容表。可选的 SMU CMU 复合单元 (SCUU)支持基于
5、定位器的晶圆探针测试环境中的电容 电压 (CV) 和电流 电压 (IV) 测量， 而不需要使用开关矩阵。从而能为您节省资金，减少工作台空间和降低测量的复杂程度。提供强大脉冲能力的HV-SPGU模块我们专门为应对先进非易失性存储器 (NVM) 测试需要的挑战研制了高 压半导体脉冲发生器单元 (HV-SPGU)。 双通道 HV-SPGU单元具有 40 V 输出能力，任意线性波形产生(ALWG) 功能，内置两个通道各自独立支持的三态特性， 从而得到了无人能及的杰出性能， 把写入/擦除循环测试时间减少到只有原来解决方案的 1/15。应对快速 IV测量挑战波形产生/快速测量单元(WGFMU) 单元双通道
6、模块把 ALWG电压脉冲能力与超快速 IV 测量集于一体。 该模块覆盖的应用包括脉冲 IV测量，先进 NBTI/PBTI测量， RTS噪声测量， MEMS电容器特性表征，新型非易失性存储器特性表征，以及其它各种类型的瞬态或时域测量。为满足 SOI和高 k栅极介电体晶体管表征的更快脉冲要求， B1542A脉冲 IV选件提供 10 ns 的脉冲 IV 能力。4在支持多用户的环境中快速启用EasyEXPERT使参数测试就像数 1-2-3那样容易。选择一个或多个测量类型从数据库中选择所需的应用测试点击或按下Measure 按钮自动生成实时的图表和数据列表创新的面向任务的参数测试方法EasyEXPERT
7、实现从原有和同类参数测试仪的转型。使您能把精力集中于进行高效率的参数测量，而不必成为一名仪器硬件专家。EasyEXPERT有按照器件类型、应用和技术归类的 230 多种应用测试。您还能按特定要求轻松地修改和定制所提供的应用测试，不需要为学习设置仪器硬件花数小时甚至数天的时间，您就能立即开始进行高效率的参数测量。每次使用 B1500A, 都按您所 要的方法来测试EasyEXPERT支持“ My Favor-ite Setup”特性，因此您能建立、保存和调用自己定制的专用应用测试。这些测试直接保存在硬盘中，可在需要时任意调用 ,而不需要使用软盘或其它 PC 介质。仪器允许用户将自定义的应用测试保存
8、到个人列表中，这样， 即使是偶尔才使用 B1500A 的用户，也可以在每次使用时都能高效率地使用仪器。5省力的测试序列化和自动测试快速测试使您无需编程就可实现测试序列化。 快速测试还能联合内置的半自动晶圆探针台驱动程序，实现整片晶圆的自动测试，以及通过数据输出特性自动将测试数据保存到任何可用的存储装置中。快速测试实现简便快捷的测试序列化EasyEXPERT 有基于 GUI 的快速测试模式，无需编程就可实现测试的序列化。您要做的仅只是选择现有的“ My Favorite Setup” 。然后只需单击几下鼠标，即可选择、复制、重新排列、剪切和粘贴任何应用测试或经典模式测试。在选择和排序测试后，只要
9、点击测量按钮，即可开始运行自动测试序列。自动化晶圆测试EasyEXPERT 支持所有常见的半自动晶圆探针台。因此您能为检测整片晶圆而轻松定义晶圆、晶粒和子晶粒信息。您还可以把对晶圆探针台的控制与快速测试模式，或是与基于应用测试的测试序列相结合，完成在跨晶圆的各种器件上的多项测试。在使用探针卡和开关矩阵时还能自动调用开关模式。自动化数据输出EasyEXPERT 能用多种格式(如 CSV， XML等格式 ) 自动将测量数据实时输出。您能把数据保存到与B1500A 相连的任何驱动器。如果在使用 Desktop EasyEXPERT ，则可将数据保存到与 PC 相连的任何驱动器。如果需要，当仪器在实验
10、室中执行测试时，您还可把数据导出到网络驱动器， 并在办公室的 PC上查看测试结果。6强大的测量能力使仪器操作简单B1500A性能 优势多通道扫描 您能以电流模式和电压模式的任意组合同步地扫描所有 SMU, 也能在所有 SMU 上进行同时的并行测量。时间采样 您能进行与时间相关的测量 , 并在达到预先设定的停止条件时自动地结束测量。列表扫描 通过与电子表兼容的输入模式 , 或使用 EasyEXPERT 的内置编程性能来建立任意扫描数组。准静态 CV (QSCV) 得到有关重要的反型状态中 MOS器件性能的信息 , 并且能计算各种重要参数 , 如表面态密度 (Nss)。多频率 CV (MFCV)
11、在 dc 探头和开关矩阵下可提供高至可用频率的 ac 电容测量直接控制 通过用户配置的前面板 GUI, 经由 GPIB 命令调用 B1500A 的所有测量功能。HV-SPGU GUI 通过 ALWG 特性简化复杂波形的建立 , 提供无需编程来序列化成百上千个周期波形的简易方法。快速 IV时域测量 (WGFMU) 通过组合 ALWG 功能和同步高速采样功能 , 实现超快速 IV 测量。能适应各种瞬态和时域应用 ,如 NBTI, 脉冲 IV, RTS 等。基于 GUI的编程环境EasyEXPERT 为建立应用测试提供方便的基于 GUI的编程环境 , 它不要求您掌握复杂的程序语言 , 如 C 或 B
12、ASIC 语言。提取建模参数B1500A支持所有常见的软件建模工具， 包括 Agilent ICCAP, ProPlusDesign Solution BSIMProPlus 和Silvaco UTMOST。 您可以在无需编程或者与仪器互动的情况下，通过使用这些工具， 利用 B1500A的高精度和高分辨率提取极精确的建模参数。B1500A 支持所有常见的建模软件包 , 包括 ICCAP。7应对最极端参数测试的挑战QSCV和 MFCV组合在一台仪器中您能用一台 B1500A完成 QSCV(使用 SMU) 和 MFCV (使用 MFCMU)两种测量。内置的补偿程序能容易地消除寄生效应，使这两种测量
13、相互关联。由于融 QSCV与 MFCV于一台仪器中，因此能为您提供紧凑、方便和全面的电容测量解决方案。通过 B1500A 量测 , 您能得到 QSCV 和MFCV 的极好关联性。精确和超快速 IV测量B1500A WGFMU模块集成了超快速测量 (5 ns采样率 ) 和 1 nA电流测量能力。从而解决了过去许多难以完成的测量问题， 如超快速 NBTI和随机电报信号 (RTS) 噪声测量。尤为可贵的是 B1500A 能装入多达 5 块WGFMU模块，从而为并行测量提供最多 10 个独立通道。B1500A WGFMU模块可完成随机电报信号(RTS) 噪声测量转换至频域易于使用的纳米技术测量解决方案
14、B1500A有专门用于纳米器件电性表征的应用测试。不完全熟悉电性表征细节的纳米器件研究人员利用此应用测试库可以快速和精确地测量各种器件结构，如碳纳米管 (CNT) 场效应晶体管 (FET)，而不必再把大量时间花在硬件安装上。即使是不熟悉参数测试的用户 , 也能用 B1500A 容易地表征各种新奇的器件结构 , 如碳纳米管 (CNT) 场效应晶体管 (FET)。8不减精度的 CV-IV切换解决方案保持所有测量环境中的测量完整性如果没有 CV和 IV测量间切换的精确方法，那么电容表的精度再高也毫无意义。 Agilent 为基于定位装置和基于探针卡的测量环境提供不降低电容测量精度的 CV-IV 切换
15、解决方案。 所有这些解决方案都实现电缆长度的自动补偿， 并支持最高精度的相位、开路、短路和负载校准。此外，Agilent 解决方案还在 CV 测量时把保 护单元短路在一起， 以消除电缆感抗效应。通过这些措施，此解决方案在每一种晶圆探测环境中实现了超常的易用性、灵活性和高测量精度。所有 Agilent CV-IV切换解决方案都在 CV测量时自动把保护单元短路在一起 , 从而稳定串联电感 , 并极大地提高测量数据的精度。B1500A EasyEXPERT软件支持 B2200A 和B2201A 补偿内置补偿程序支持连接的电缆B2200A 和 B2201A 有最适合 CV 测量的两路输入 在 CV 测
16、量时 , B2220A 探针卡接口可以自动短路保护单元Agilent 提供基于 CV - IV 探针卡的完整切换解决方案。如果您不打算使用 B2220A 接口 , Agilent 也支持用户自定义的配置。可选的保护切换单元 (GSWU) 与SCUU 一起工作 , 在 CV 测量期间自动短路保护单元。9SCUU和 ASU解决了基于定位器切换所带来的挑战适应各种需要的基于定位器的 CV-IV解决方案B1500A支持两种基于定位器的CV-IV 切换解决方案。根据所选的SMU资源， Agilent分别提供具有电压测量分辨率达 0.5 V和电流测量分辨率达 10 fA, 1 fA或 0.1 fA的解决方案。0.1 fA/0.5 V 分辨率1 个 MFCMU2 个 HRSMU2 个 ASU10 fA/0.5 V 分辨率1 个 MFCMU2 个 MPSMU1 个 SCUU1 fA/0.5 V 分辨率1 个 MFCMU2 个 HRSMU1 个 SC
