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1、 光纤传感器的应用研究摘要：光纤传感技术是一门新的科学技术，也是信息社会的一个重要技术基础，在当代高科技中占有十分重要的位置。该技术是测量技术、半导体技术、计算机技术、信息处理技术、微电子学、光学、声学、精密机械、仿生学、材料科学等众多学科相互交叉的综合性高新技术和密集型前沿技术。本课题主要了解光纤导光的基本原理及其在传感技术上应用的物理基础，重点研究光纤传感器敏感的物理量、光纤传感器的基本类型及其相关应用。1. 序言 光纤传感技术是二十世纪七十年代左右随着光纤通信技术的萌芽而迅速建立起来的，通过以光波这一载体并光纤这一媒质，起到具有感知与信号传输的新型传感技术。作为被测量信号载体的光波和作为
2、光波传播媒质的光纤，具有一系列独特的、其他载体和媒质难以相比的优点。传感技术是近几年热门的应用技术，传感器在朝着灵敏、精确、适应性强、小巧和智慧化的方向发展。在这一过程中，光纤传感器这个传感器家族的新成员倍受青睐。光纤具有很多优异的性能，例如：抗电磁干扰和原子辐射的性能， 径细、质软、重量轻的机械性能，绝缘、无感应的电气性能，耐水、耐高温、耐腐蚀的化学性能等，它能够在人达不到的地方（如高温区），或者对人有害的地区（如核辐射区），起到人的耳目的作用，而且还 能超越人的生理界限，接收人的感官所感受不到的外界信息。 现阶段，光纤传感领域在世界中的发展大致分为两大方面：应用开发与相关原理性研究。2.1
3、光纤传感器的结构原理 以电为基础的传统传感器是一种把测量的状态转变为可测的电信号的装置。它的电源、敏感元件、信号接收和处理系统以及信息传输均用金属导线连接，见图(a)。光纤传感器则是一种把被测量的状态转变为可测的光信号的装置。由光发送器、敏感元件(光纤或非光纤的)、光接收器、信号处理系统以及光纤构成由光发送器发出的光经源光纤引导至敏感元件。这时，光的某一性质受到被测量的调制，已调光经接收光纤耦合到光接收器，使光信号变为电信号，最后经信号处理得到所期待的被测量。可见,光纤传感器与以电为基础的传统传感器相比较，在测量原理上有本质的差别。传统传感器是以机电测量为基础，而光纤传感器则以光学测量为基础。
4、 光是一种电磁波，其波长从极远红外的lmm到极远紫外线的10nm。它的物理作用和生物化学作用主要因其中的电场而引起。因此，讨论光的敏感测量必须考虑光的电矢量E的振动，即A电场E的振幅矢量；光波的振动频率；光相位；t光的传播时间。可见，只要使光的强度、偏振态(矢量A的方向)、频率和相位等参量之一随被测量状态的变化而变化，或受被测量调制，那么，通过对光的强度调制、偏振调制、频率调制或相位调制等进行解调，获得所需要的被测量的信息。2.2光纤传感器的分类光纤传感器的分类有多种形式，可以根据光纤在传感器中的作用进行分类，也可以根据光受被测对象的调制形式进行分类。2.2.1根据光纤在传感器中的作用分类 光
5、纤传感器分为功能型、非功能型和拾光型三大类。1）功能型（全光纤型）光纤传感器利用对外界信息具有敏感能力和检测能力的光纤(或特殊光纤)作传感元件，将“传”和“感”合为一体的传感器。光纤不仅起传光作用，而且还利用光纤在外界因素(弯曲、相变)的作用下，其光学特性(光强、相位、偏振态等)的变化来实现“传”和“感”的功能。因此，传感器中光纤是连续的。由于光纤连续，增加其长度，可提高灵敏度。信号处理光受信器光发送器1光纤敏感元件2）非功能型（或称传光型）光纤传感器光纤仅起导光作用，只“传”不“感”，对外界信息的“感觉”功能依靠其他物理性质的功能元件完成。光纤不连续。此类光纤传感器无需特殊光纤及其他特殊技术
6、，比较容易实现，成本低。但灵敏度也较低，用于对灵敏度要求不太高的场合。 3）拾光型光纤传感器 用光纤作为探头，接收由被测对象辐射的光或被其反射、散射的光。其典型例子如光纤激光多普勒速度计、辐射式光纤温度传感器等。 2.2.2根据光受被测对象的调制形式分类（1）强度调制型光纤传感器 是一种利用被测对象的变化引起敏感元件的折射率、吸收或反射等参数的变化，而导致光强度变化来实现敏感测量的传感器。有利用光纤的微弯损耗；各物质的吸收特性；振动膜或液晶的反射光强度的变化；物质因各种粒子射线或化学、机械的激励而发光的现象；以及物质的荧光辐射或光路的遮断等来构成压力、振动、温度、位移、气体等各种强度调制型光纤
7、传感器。优点：结构简单、容易实现，成本低。缺点：受光源强度波动和连接器损耗变化等影响较大。（2）偏振调制光纤传感器 是一种利用光偏振态变化来传递被测对象信息的传感器。有利用光在磁场中媒质内传播的法拉第效应做成的电流、磁场传感器；利用光在电场中的压电晶体内传播的泡尔效应做成的电场、电压传感器；利用物质的光弹效应构成的压力、振动或声传感器；以及利用光纤的双折射性构成温度、压力、振动等传感器。这类传感器可以避免光源强度变化的影啊，因此灵敏度高。 （3）频率调制光纤传感器 是一种利用单色光射到被测物体上反射回来的光的频率发生变化来进行监测的传感器。有利用运动物体反射光和散射光的多普勒效应的光纤速度、流
8、速、振动、压力、加速度传感器；利用物质受强光照射时的喇曼散射构成的测量气体浓度或监测大气污染的气体传感器；以及利用光致发光的温度传感器等。 （4）相位调制传感器 其基本原理是利用被测对象对敏感元件的作用，使敏感元件的折射率或传播常数发生变化，而导致光的相位变化，使两束单色光所产生的干涉条纹发生变化，通过检测干涉条纹的变化量来确定光的相位变化量，从而得到被测对象的信息。通常有利用光弹效应的声、压力或振动传感器；利用磁致伸缩效应的电流、磁场传感器；利用电致伸缩的电场、电压传感器以及利用光纤赛格纳克（Sagnac）效应的旋转角速度传感器（光纤陀螺）等。这类传感器的灵敏度很高。但由于须用特殊光纤及高精
9、度检测系统，因此成本高。 3 光纤传感器敏感的物理量 光纤传感器可分为干涉型和非干涉型，可通过相位，频率，强度和偏振调制等方式实现对不同物理量的测量，具体内容如表1所示：表1 光纤传感器的分类和测量的物理量传感器光学现象被测量光纤分类干涉型相位调制光线传感器干涉（磁致伸缩）电流、磁场SM、PM1干涉（电致伸缩）电场、电压SM、PM1Sagnac效应角速度SM、PM1光弹效应振动、压力、加速度、位移SM、PM1干涉温度SM、PM1非干涉型强度调制光纤温度传感器遮光板遮断光路温度、振动、压力、加速度、位移MM2半导体透射率的变化温度MM2荧光辐射、黑体辐射温度MM2光纤微弯损耗振动、压力、加速度、
10、位移SM2振动膜或液晶的反射振动、压力、位移MM2气体分子吸收气体浓度MM2光纤漏泄膜液位MM2偏振调制光纤温度传感器法拉第效应电流、磁场SM2、1泡克尔斯效应电场、电压MM2双折射变化温度SM2光弹效应振动、压力、加速度、位移MM2频率调制光纤温度传感器多普勒效应速度、流速、振动、加速度 MM3受激喇曼散射气体浓度 MM2光致发光s温度 MM2注：SM单模；MM多模；PM偏振保持； 1、2、3功能型、非功能型、拾光型物理型光纤传感器原理：光纤对环境变化十分敏感，物性型光纤传感器是运用了这一特性，把输入的物理量转变成调制光信号。光纤的光调制效应是其基本工作原理，例如压力、温度、磁场、电场等发生
11、改变时，其传光特性（如光照强度与相位会发生变化），以上均是光纤所受外界环境因素。根据这些因素，若能测量出通过光纤的光照强度与光相位变化，即可知晓需测得的变化物理量。激光器的点光源光束扩散为平行波，分光器把光束分成两路，分别为基准光路、测量光路。当外界参数如压力、温度、振动等引起光纤长度与相位的光相位变化时，从而产生了数量不同的干涉条纹，对其模向移动进行统计，则可以测量到温度、压力等参数。结构型光纤传感器原理：结构型光纤传感器是光检测功能的光敏元件和光纤传输回路以及测量电路组成的测量系统。其光纤作为光的传播媒介，故又称为传光型（非功能）光纤传感器，如图3所示。 图3 结构型光纤传感器工作原理示意
12、图 图4 拾光型光纤传感器工作原理示意图拾光型光纤传感器原理：拾光型光纤传感器把光纤作为探头，目的是接收被测对象所辐射的光以及被其所散射或反射的光。辐射式光纤温度传感器、激光多普勒速度计等均是具有代表性的例子。如图4所示。4 光纤传感器的基本类型 最近几十年光纤传感器领域得到迅速发展，这一新型传感器不仅有抗电磁干扰、绝缘性好、高灵敏度、低重量、还能在一系列如恶劣环境等条件下工作的优点，因此具有非常广泛的应用前景。现已有测量电流、压力、温度、位移、加速度等多种物理量的光纤传感器。以下从光纤传感器的类别出发， 分别介绍光强、相位和偏振态调制型等几类光纤传感器的基本特点及其应用原理4。4.1 光强调
13、制型这是一种运用变化被测量量引起光纤内光强变化传感器。导致光纤中光强发生变化的因素为：1）改变光纤的微弯状态，2）改变光纤对光波的吸收特性，3）改变光纤包层的折射率。接下来则分别讨论运用以上三个因素制成的光强调制型光纤传感器的原理。（1） 改变光纤的微弯状态 运用微弯效的光纤位移传感器的原理如图5。运用多模光纤在受到弯曲时，其中芯模能量中的一部分将转化成包层模式能量，通过测包层模式能量的改变来测量位移。如光纤报警器正是运用这一原理制成，其基本原理是光纤弯曲排布在地毯内，若有人站在地毯上，则会引起地毯内光纤形变，从而引起光纤内光强变化，系统识别光强变化后，发出报警信号。图5 光纤移位传感器原理图
14、（2） 改变光纤对光波的吸收特性若想让光纤输出功率降低，则需要使X射线和射线的光纤材料吸收损耗增加。运用这一原理可制作光纤辐射传感器，该类传感器可检测核电站等有辐射的设备大范围环境监测。此外光纤紫外光传感器的运用原理和上述原理类似。紫外光照射光纤从而激发出荧光，利用荧光强弱来探测紫外光的光强。特殊的光纤材料是制成这一类传感器的关键。（3） 改变光纤包层的折射率全内反射光纤传感器原理如图6所示。其光纤端面角度与临界角恰好相等。输入纤芯的光会从端面发生全反射，经反射镜沿原路输出。当被测参量产生变化时，光纤端面包层的折射率产生改变，改变全反射的条件，从而输出的光强降低。运用此原理可以制作光纤折射率计
15、、光纤液体浓度传感器等等。 图6 全内反射光纤传感器原理图 图7 Michelson光纤干涉仪原理图4.2 相位调制型 相位调制型光纤传感器是利用光纤本身作为敏感元件，通过被测能量场的作用，使光纤内传播的光波相位发生变化，再用干涉测量技术把相位变化转换为光强变化，从而检测出待测的物理量。光纤中光的相位由光纤波导的物理长度、折射率及其分布、波导横向几何尺寸所决定，应力、应变、温度等外界物理量能直接改变上述三个波导参数，产生相位变化，实现光纤的相位调制。简单地说，将被测量转为光的波长或光程差的变化，从而使相位发生变化的方法称为相位调制。Michelson光纤干涉仪原理如图7所示。该类传感器利用一个光纤定向耦合器构成的双光束干涉仪，两光纤之一为参考臂，另一为传感臂。需测量的参量改变将会直接导致干涉仪中传感臂光纤的长度L(对应于光纤的弹性变形)与折射率改变，进而导致光纤中光波的相位发生变化。假设将压电
